VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型)，基片最大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。
VTC-16-3HD小型三靶等離子濺射儀

● 輸入電源：220V 通用  功率：< 1KW
● 工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調(diào)
● 單次工作時間：0-5分鐘可調(diào)
● 靶頭數(shù)目：3個
● 輸出電壓：1600V DC
● 樣品臺加熱溫度：500℃（選配，詳細請聯(lián)系售后）

● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
● 密封：O形密封圈密封

● 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片，可以電動控制移動三個位置
● 濺射距離：濺射距離可調(diào)
● 可選購加熱型樣品臺（最高溫度可到500℃）
● PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上）

● 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
● 一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度

● 用機械泵真空度達 50 mtorr（僅供參考，詳情請點擊）
● 用分子泵真空度可達 10-4 torr（僅供參考，詳情請點擊）

● 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm
● 可在本公司選購靶材,具體請點擊鏈接

● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發(fā)鍍膜機。點擊下面圖片查看細節(jié)
● 有時為了達到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜
● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）
● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
● 要達到薄膜與基底良好結(jié)合，請在濺射前清潔基材表面
● 超聲波清洗（詳細參數(shù)點擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮氣干燥（4）真空烘箱除去水分。
● 等離子清洗（詳細參數(shù)點擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物
● 制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力
      超聲波清洗機        等離子清洗機     大功率磁控濺射儀              蒸鍍儀                     手套箱

● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體
● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

CE認證